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制备FIB三维重构用“鼻尖”试样的方法

1075   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:09
一种制备FIB三维重构用“鼻尖”试样的方法，综合应用切割技术、电化学抛光、砂纸打磨的手段，其工艺特征为：普通金相制样；在光学显微镜或扫描电镜下标记样品待测区域；使用切割技术粗加工，使得样品呈“L”形或条形，待测区域位于样品前端，初步形成“鼻尖”，“鼻尖”宽度为1mm以下；用高目砂纸打磨“鼻尖”两侧，或借助电化学抛光腐蚀样品前端，使得“鼻尖”宽度进一步缩减至100μm以下；用FIB系统精修“鼻尖”达到指定尺寸。本发明的优点为在所得样品与利用FIB传统挖坑技术制样品质一致的条件下大大降低制样成本，有力促进FIB在三维表征分析方面的推广应用。
声明：
“制备FIB三维重构用“鼻尖”试样的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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