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适用SAW器件的纳米金刚石膜及制备方法与用途

809   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:08
本发明公开了一种适用SAW器件的纳米金刚石 薄膜及制备方法与用途，这种利用微波等离子化学气相沉积法 制备的C－轴取向的金刚石纳米膜，膜厚6μm，晶粒度为： 200－250nm，sp3成分≥90％，满 足波长λ≤4μm高频声表面波传播条件。本发明纳米金刚石 膜具有C－轴择优取向，平整光滑，具有一定厚度，结晶度好。 该薄膜可满足纳米金刚石薄膜领域的应用需求，用射频离子溅 射可制备出C－轴取向的压电薄膜，例如高频、大功率声表面 波(SAW)器件等。经使用HP8712ET网络分析仪测量SAW滤 波器中心频率，当IDT指宽为d＝1.7μm时，SAW滤波器中 心频率可达到1.75GHz。
声明：
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