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微流控芯片键合方法及微流控芯片

671   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:47
本发明涉及生物科学微全分析系统技术领域,具体地说是一种微流控芯片键合方法及微流控芯片。方法包括:提供一种微流控芯片基片,所述基片上表面设有微通道结构;在所述基片上表面微通道结构周围边缘处设置超声键合导能筋或者在盖片上对应所述基片表面微通道结构位置周围设置超声键合导能筋;在所述基片或盖片上粘着表面粘贴双面胶,将所述盖片与所述基片粘合;对所述基片和所述盖片进行超声键合,使之发生第一步键合;对所述芯片实施压力固定或热压,使双面胶粘贴的所述基片和所述盖片牢固键合。本发明既可以保证微流控芯片键合的稳定性,又可以避免影响微流控芯片本身的物理化学性质,因而不会干扰检测结果。
声明:
“微流控芯片键合方法及微流控芯片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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