合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 沟槽型功率晶体管及其制作方法

沟槽型功率晶体管及其制作方法

591   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:45
针对现有的制作工艺形成的沟槽型功率晶体管易出现漏电流过大问题，本发明人对其产生原因进行了分析，发现其中一个原因为：对功率晶体管沟槽外的多晶硅和栅极氧化层进行平坦化处理时，上述平坦化处理一般采用研磨法，例如化学机械研磨（CMP），对于栅极氧化层较薄的情况，上述研磨会由于终点难以检测，造成功率晶体管沟槽开口处的多晶硅及周围外延层出现过度研磨，从而造成功率晶体管的沟道过短，出现短沟道效应。针对上述问题，本发明提出一种新的沟槽型功率晶体管及其制作方法，其制作方法在外延层上至少形成研磨终止层，利用其对研磨过程进行终点检测，从而避免过度研磨问题，也避免了制作的功率晶体管的短沟道效应，减小了源-漏漏电流。
声明：
“沟槽型功率晶体管及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：铋/氮化碳光电材料的制备方法及用途
下一个：原位液体成形光学微透镜制造中的高精度面形获取装置

与 “沟槽型功率晶体管及其制作方法” 相关技术

▪ 降低铝电解阳极效应的控制方法
▪ 稀土绿色萃取分离技术
▪ 年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪ 低成本太阳能多晶硅制备技术
▪ 用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪ 具有除铁功能的粉碎机
▪ 具有防尘效果的振动筛下料装置
▪ 风机生产用自动冲拔一体机
▪ 粉碎机出料仓除尘结构
▪ 活性炭吸附过滤水循环利用装置

相关化学分析设备推荐

手持式扫频仪
公共场所红外线气体分析仪
土壤氮磷钾检测仪
土壤原位电导率计
复合气体检测仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪降低铝电解阳极效应的控制方法
▪稀土绿色萃取分离技术
▪年产250吨电子级低氧超高纯钛
▪低成本太阳能多晶硅制备技术
▪用于负极材料的纳米硅粉制备及产业化应用技术研发
▪具有除铁功能的粉碎机
▪具有防尘效果的振动筛下料装置
▪风机生产用自动冲拔一体机
▪粉碎机出料仓除尘结构
▪活性炭吸附过滤水循环利用装置

报名参会
更多+

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
2024年07月26日 ~ 28日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月16日 ~ 18日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记