本发明公开了一种pH指示与自校准的梳状纳米传感器及其制备方法,通过采用一系列的MEMS加工工艺,实现多传感器的集成,用于多参数的同时检测,提高传感器的应用范围。纳米传感器上集成的场效应光电传感器,用于pH的检测,为纳米传感器的重金属检测提供pH值的指示,保证纳米传感器在适当的pH范围内进行
电化学分析,提高传感器的检测效率。此外,通过研究pH对重金属检测的影响,引入纳米传感器检测数据的自校准模型,有效提高传感器的准确度与抗干扰能力,有利于提高传感器的性能。该传感器可应用于环境监测、生物医学、化学等各项领域,实现重金属元素快速、高效地检测。
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