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乙醇、二氧化氮双敏薄膜气体传感器

1120   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:29
本发明是检测乙醇和二氧化氮双敏薄膜气体传 感器。主要应用在汽车电子化、环境污染和气体分析 等领域。采用等离子体增强化学气相淀积技术，制备 Fe2O3TiO2-SnO2复合薄膜敏感材料，其元件结构 为旁热式，气体最低检出浓度为5ppm以下。它具有 灵敏度高、响应快、恢复时间短和易进行大批量生产 等特点。
声明：
“乙醇、二氧化氮双敏薄膜气体传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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