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包埋的压电电阻微型悬臂传感器

1043   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:11
一种用于检测化学和/或生物学分析物的装置和方法,该装置包括至少部分包埋在传感元件(18)内的微型悬臂(2)的可偏转的臂(4)。将可能含有要检测的分析物的气体或液体介质导入所述传感元件(18)。在存在要检测的分析物的条件下,所述传感元件(18)会发生体积膨胀或收缩,通常是通过吸附所述分析物造成的。所述传感元件的体积的改变导致了所述可偏转的臂(4)偏转,所述可偏转的臂(4)包括至少一种在所述臂偏转时发生改变的可检测的物理特性。
声明：
“包埋的压电电阻微型悬臂传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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