合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 非制冷红外焦平面探测器光学窗口的湿法腐蚀方法

非制冷红外焦平面探测器光学窗口的湿法腐蚀方法

965   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:10
本发明公开了一种非制冷红外焦平面探测器光学窗口的湿法腐蚀方法，包括：以等离子体化学气相沉积法在硅片衬底两面生长二氧化硅介质层；采用直流磁控溅射方法在介质层上依次沉积铬、金形成金属层；通过光刻法在衬底第一底面金属层上形成一次图形的光刻胶层；采用离子束刻蚀方法刻蚀光刻胶掩膜之外衬底第一底面的金属层；腐蚀光刻胶掩膜之外衬底第一底面的二氧化硅层;去除光刻胶层；以剩余的介质层和金属层作为掩膜保护层，腐蚀硅片形成腐蚀深度大于100μm的光学窗口腔体；以及去除掩膜保护层，得到图形化的光学窗口。本发明通过以介质层和金属层为掩膜保护层，在不增加成本、不改变湿法腐蚀液的前提下，达到了选择性湿法腐蚀光学窗口的目的。
声明：
“非制冷红外焦平面探测器光学窗口的湿法腐蚀方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：凝胶薄膜制备及其性能测试的方法
下一个：自组装膜诱导卡马西平晶型的控制方法和结晶过程的在线监测方法

与 “非制冷红外焦平面探测器光学窗口的湿法腐蚀方法” 相关技术

▪ 钨板材及其制备方法
▪ 渗碳剂、超粗碳化钨粉的制备方法
▪ 铝灰固化装置
▪ 铝电解废碳素用于烟化炉的方法
▪ 铝电解废碳素用于炼铅还原炉的方法
▪ 从电解铝固废中高效分离提锂的系统及方法
▪ 铅冶炼尾气处理设备及方法
▪ 用于金属冶炼的高效多功能机械搅拌装置
▪ 矿用掘进钻车
▪ 矿用移动式螺杆空压机

相关化学分析设备推荐

建筑工地扬尘与噪声在线监测 土壤监测仪
微型土壤温湿盐速测仪
在线式工业氧气检测仪
土壤呼吸率测定仪
DF-6420超声波（矿浆）浓度计
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪钨板材及其制备方法
▪渗碳剂、超粗碳化钨粉的制备方法
▪铝灰固化装置
▪铝电解废碳素用于烟化炉的方法
▪铝电解废碳素用于炼铅还原炉的方法
▪从电解铝固废中高效分离提锂的系统及方法
▪铅冶炼尾气处理设备及方法
▪用于金属冶炼的高效多功能机械搅拌装置
▪矿用掘进钻车
▪矿用移动式螺杆空压机

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
中国新能源材料与器件第七届学术会议
中国新能源材料与器件第七届学术会议
2025年03月28日 ~ 30日
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记