本实用新型公开了一种用于测试晶体硅体少子寿命的硅片钝化装置,包括塑料袋结构,所述塑料袋结构包括用于在其内部放置硅片的具有防腐蚀性的塑料袋,所述塑料袋的顶端为用于装入或取出所述硅片的开口端,所述开口端设置有能够将所述开口端密封的封口边,所述塑料袋的底端设置有连通所述塑料袋的内部的抽注管,所述抽注管的底部设置有密封塞;该硅片钝化装置能够解决现有技术中的化学钝化法产生的寻边困难、容易损害仪器、有污染、测试后处理不便、无法控制钝化液体积的问题。
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