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嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法

963   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:09
本发明公开了一种嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法，所述方法以均匀放置在石英舟和石英管的锌粉为原料，通过化学气相沉积法制备得到氧化锌微米线，然后将制备好的氧化锌微米线转移到洗净的玻璃衬底上，排列整齐，滴入PVAL胶水覆盖氧化锌微米线表面，待胶水凝固后，将氧化锌微米线阵列与PVAL衬底从玻璃衬底揭下，完成氧化锌微米线阵列嵌入柔性衬底的工作，再在氧化锌微米线阵列表面沉积金叉指电极，完成ZnO微米线阵列紫外探测器的制备。所述方法使用PVAL柔性衬底，可以最大程度地保护氧化锌微米线阵列，和电极形成最好的接触，使得器件高度一体化。
声明：
“嵌入柔性衬底的ZnO微米线阵列紫外探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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