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基于硅纳米线阵列的自驱动肖特基结近红外光电探测器及其制备方法

1040   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:09
本发明公开了一种基于硅纳米线阵列的自驱动肖特基结近红外光电探测器及其制备方法，其特征在于：是在硅基底的表面通过银辅助的化学刻蚀法形成有硅纳米线阵列；在硅纳米线的外表面通过液相还原反应均匀包覆有金属铜膜；金属铜膜与硅纳米线形成肖特基结；在硅基底的背面刷涂有In/Ga导电胶层，与硅基底形成欧姆接触。本发明的肖特基结近红外光电探测器，制备过程简单易行，器件性能优越。
声明：
“基于硅纳米线阵列的自驱动肖特基结近红外光电探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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