本发明公开了一种低温制备Ag电极测试BZT陶瓷的方法,先按BaZr
0.2Ti
0.8O
3的化学计量比,称取原料BaCO
3、ZrO
2和TiO
2,于1350℃烧制成BZT陶瓷;将BZT陶瓷制品放入磁控溅射制品台上,装上金属银靶材,将磁控溅射系统的本底真空度抽至P<1.0×10
‑3Pa,使用Ar作为溅射气体,直流溅射电流为100~400mA,沉积时间为1500~7200s,在BZT陶瓷制品表面沉积得到厚度为1~4μm的Ag电极,再利用砂纸打磨Ag包覆层,即制得用于测试BZT陶瓷的Ag电极。本发明不需热处理,低温制备,且制备工艺简单,具有良好的应用前景。
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