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AlN纳米线日盲区探测器的制备方法

870   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:08
本发明公开了一种AlN纳米线日盲区探测器的制备方法，包括，S1在Si衬底上沉积5‑25nm厚的Ni金属层；S2采用等离子体辅助化学气相沉积法制备AlN一维材料；S3在AlN一维材料上光刻出所需的叉指电极图形；S4在叉指电极图形蒸镀Ti/Ni/Au电极，与AlN一维材料形成肖特基接触，并剥离出叉指电极，得到AlN纳米线探测器。本发明在制备过程中无复杂操作和其他有害副产物产生，运用该工艺重现性和可控性良好，同时器件的制备加工也相对容易，推动了紫外探测技术的发展。
声明：
“AlN纳米线日盲区探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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