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多参数水质监测集成微阵列电极及制备方法

1106   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:08
本发明涉及一种多参数水质监测集成微阵列电极及制备方法，其特征在于所述的微阵列电极制作在氧化硅片上。该阵列电极衬底为Pt薄膜，光敏性聚酰亚胺为绝缘层，光刻将电极位点裸露出来，其他部分绝缘；采用电化学修饰的方法在裸露电极上电沉积Ag/AgCl和IrOx薄膜分别形成参比电极和pH测试电极，以实现对温度、氧化还原电位、电导率和pH的测定。制作包括微阵列电极的制作，Ag/AgCl参比电极的制备以及pH电极的制备。本发明所述微电极便于集成化和微型化。
声明：
“多参数水质监测集成微阵列电极及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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