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AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器及其制备方法

943   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:08
本发明公布了一种AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器及制备方法，结构包括图形化蓝宝石衬底、ZnO缓冲层、非故意掺杂Al0.3Ga0.7N光吸收层、第一Ni/Au叉指电极、第二Ni/Au叉指电极。AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器制备方法包括：首先对图形化蓝宝石衬底进行清洗，采用金属有机物化学气相淀积技术在图形化蓝宝石衬底上生长获得外延结构ZnO缓冲层和非故意掺杂Al0.3Ga0.7N光吸收层，在非故意掺杂Al0.3Ga0.7N光吸收层和图形化蓝宝石衬底上均先后溅射金属Ti层和Au层，最后整个器件在300℃的N2氛围中快速热退火200s。本发明的有益效果：采用图形化蓝宝石衬底，相比普通的蓝宝石衬底，可以降低外延层材料的位错密度，提高外量子效率；采用ZnO缓冲层技术，可以获得极低暗电流。
声明：
“AlGaN基MSM结构日盲型紫外探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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