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单晶测试样片腐蚀溶液及腐蚀方法

682   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:08
本发明氢氧化钠溶液,所述氢氧化钠溶液的浓度为6%。本发明单晶测试样片腐蚀溶液及腐蚀方法将腐蚀单晶测试样片的化学药液用碱溶液来代替混酸溶液。碱溶液与硅反应时生成物为硅酸盐及氢气,硅酸盐与氢气对环境基本无影响,且反应时产生的氢气对操作人员也没什么危害。
声明:
“单晶测试样片腐蚀溶液及腐蚀方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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