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带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置

1009   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:49
本实用新型公开了一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，涉及化学机械抛光技术领域，它包括抛光辊电机、抛光辊、矩形抛光液喷头、电机支撑板、轨道、中空抛光带、液压升降装置、丝杠、联轴器、丝杠电机、流体压力传感器；本实用新型可以实时测试不锈钢带不同位置的流体压力，同时也可以单独测试不同抛光压力下、不同抛光速度以及不同流量抛光液等情况下的流体压力，抛光液输送装置采用矩形双侧喷头，保证两侧的抛光辊上的抛光液进给量相同，提高了抛光的效率，从节省空间的方面考虑，抛光机机架采用立式机架，空间利用率高，同时保证了抛光质量，大大降低加工成本，以满足人们的基本要求，具有很好的实用价值。
声明：
“带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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