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日盲光电探测器及其制备方法

909   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:48
本公开提供了一种日盲光电探测器的制备方法，包括：S1，以氩气为载气，三乙基镓和氧气为反应前驱物，在衬底上生长氧化镓，以得到第一相混合第二相的初级氧化镓晶片；S2，在所述初级氧化镓晶片上旋涂紫外光刻胶，并在所述旋涂紫外光刻胶初级氧化镓晶片上刻蚀出电极区域；S3，在所述电极区域生长金属电极；S4，去除所述紫外光刻胶。另一方本公开提供了一种日盲光电探测器。本申请中的日盲光电探测器采用混合相氧化镓为主要组成部分，该混合相氧化镓具有低暗流，高响应度等优点。另，使用金属有机物化学气相沉积法制备氧化镓外延层，这种方法具有可大规模生产、对产物质量的调控能力强等优点。
声明：
“日盲光电探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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