本发明公开了一种漏液侦测装置,应用于向机台传输化学药液的管道的漏液侦测,包括:一中转箱,所述中转箱套设于所述管道外,且所述中转箱的底部设有开孔;设置于所述中转箱底部与所述开孔连通的套管,所述套管包括管路和设置于所述管路内部的支管,所述管路的底部密封,所述支管的一端伸出所述管路的顶部开口;以及,设置于所述套管外部的传感器。本发明采用在中转箱底部的管路中设置一具导气功能的支管,从而有效避免了漏液进入管路时形成的气封现象,漏液侦测准确度高,且工艺简单方便,实用性强。
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