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基于GaSb/InSb/InP异质PIN结构的光伏型红外探测器

1007   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:48
一种基于GaSb/InSb/InP异质PIN结构的光伏型红外探测器，属于红外探测技术领域。该探测器由下至上依次由背电极、重掺杂的N+型InP衬底、重掺杂的N+型InP电子传输层、未掺杂的窄禁带InSb有源区、重掺杂的P+型GaSb空穴传输层以及栅条形上电极)组成。本发明采用低压金属有机物化学气相外延技术，在重掺杂的N+型InP衬底制备相应结构，并利用磁控溅射技术制备上电极和背电极，得到的器件具有探测率高、响应速度快、工作温度高、制备工艺简单等特点，在室温条件下，归一化探测率D*为2.4×1010cm Hz1/2W‑1，可应用于航天、军事、工业、民用等领域。
声明：
“基于GaSb/InSb/InP异质PIN结构的光伏型红外探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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