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AlGaN基日盲紫外雪崩异质结光电晶体管探测器及其制备方法

738   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:48
本发明涉及半导体紫外光电探测器的技术领域，更具体地，涉及一种AlGaN基日盲紫外雪崩异质结光电晶体管探测器及其制备方法。一种AlGaN基日盲紫外雪崩异质结光电晶体管探测器，其中，包括衬底，利用金属有机化学气相沉积外延外生长法（或分子束外延生长法），依次在衬底上生长的非故意掺杂低温AlN缓冲层，非故意掺杂高温AlN缓冲层，非故意掺杂AlmGa1‑mN窗口层，n型AlmGa1‑mN层，n型AlnGa1‑nN组分缓变层，非故意掺杂AlaGa1‑aN吸收倍增层，非故意掺杂AlbGa1‑bN吸收倍增层，非故意掺杂AlcGa1‑cN吸收倍增层,Mg掺杂p型AlxGa1‑xN层，非故意掺杂AlxGa1‑xN层,n型AlyGa1‑yN组分缓变层和n型AlzGa1‑zN层，以及最后利用器件工艺沉积得到的n型欧姆接触电极。
声明：
“AlGaN基日盲紫外雪崩异质结光电晶体管探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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