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基于微纳加工工艺的多参数水质监测传感器

657   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:48
本实用新型属于水质监测传感器技术领域，具体涉及一种基于微纳加工工艺的多参数水质监测传感器，包括传感器本体和芯片，所述传感器本体内设置有芯片，所述芯片包括PH电极、溶解氧电极、电导率电极和温度电极，所述PH电极包括通用正极和PH电极负极，所述溶解氧电极包括通用正极和溶解氧负极。通过采用微纳加工工艺制备，布局于硅基片上的各测试电极结构紧凑，体积小巧，集成程度高，制备简单，便于安装，并且各监测参数使用的电极材料均具有较强的热稳定性和化学稳定性，对传感器的后期测试稳定性有较强保障作用。
声明：
“基于微纳加工工艺的多参数水质监测传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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