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锆钛酸铅薄膜红外热成像探测器悬空结构的制作方法

832   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:47
本发明是一种锆钛酸铅薄膜红外热成像探测器 悬空结构的制作方法，采用在硅片上镀制一定厚度的氧化镁薄 膜作为制作锆钛酸铅薄膜非致冷焦平面红外热成像探测器悬 空结构的牺牲层，并通过控制牺牲层的厚度来控制悬空高度； 采用等离子体增强化学气相沉积方法制作 SiNx，用于平衡锆钛酸铅薄膜的 应力；应用快速热处理方法对共电极Ti/Pt以及锆钛酸铅敏感 薄膜进行快速热处理，获得高性能的锆钛酸铅薄膜。本发明主 要解决了牺牲层材料的去除方法简单，并与其他结构之间的相 容性好、在快速热处理时对读出电路的保护以及探测器的悬空 部分与基片连接的问题，满足了工业生产的客观需要。
声明：
“锆钛酸铅薄膜红外热成像探测器悬空结构的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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