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具有双铁电层复合薄膜的光电探测器及其制备方法

831   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:47
本发明提供一种具有双铁电层复合薄膜的光电探测器制备方法，该方法包括：按照化学计量比配置镍酸镧底电极、BFMO和BLFO的前驱体溶液。随后在洗净的硅基片上经过旋涂和热处理按顺序分别制备镍酸镧底电极、BLFO铁电层和BFMO铁电层并在顶层溅射上金电极，形成垂直的电极结构及光电探测器。本发明还提供一种光电探测器。本发明能够实现较高的光电探测性能。
声明：
“具有双铁电层复合薄膜的光电探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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