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基于单壁碳纳米管薄膜的异质结光电探测器的制备方法

855   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:47
本发明涉及光电探测器领域，具体为一种基于单壁碳纳米管薄膜的异质结光电探测器的制备方法。首先利用浮动催化剂化学气相沉积法制备出高性能、柔性单壁碳纳米管薄膜，将沉积于微孔滤膜上的单壁碳纳米管薄膜裁剪成合适尺寸；将其置于预先开设窗口的硅基底上表面，使单壁碳纳米管薄膜与硅基底紧密接触，并移去滤膜后，放置于空气环境下热处理，在窗口处制备一层数纳米厚的诱导氧化层；然后制备上电极(银胶)和下电极(铟镓合金)即得所述光电探测器。本发明异质结光电探测器结构简单，制备过程便捷，所构建的光电探测器具有优异的光电探测性能及稳定性。
声明：
“基于单壁碳纳米管薄膜的异质结光电探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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