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NixMg1-xO短波长紫外光探测材料

740   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:47
NixMg1-xO短波长紫外光探测材料属于半导体材料技术领域。现有GaxAl1-xN材料存在的 不足有，首先，制作薄膜所使用的蓝宝石衬底昂贵；其次，需要使用化学气相沉积等大型、 复杂设备生长，生长温度也较高，造成了能源的浪费；第三，禁带宽度调节范围较小，即 3.4～6.2eV；第四，GaN和AlN晶格失配和离子半径失配较大，分别为1.8％和15％。本发明 之短波长紫外光探测材料的分子式为NixMg1-xO，0≤X≤1。以石英玻璃为衬底在磁控溅射设备 中制作NixMg1-xO短波长紫外光探测薄膜，所制备的薄膜晶格失配和离子半径失配很小，分 别为0.7％和5.7％，禁带宽度为3.6～7.8eV。用来制作短波长紫外光探测器件。
声明：
“NixMg1-xO短波长紫外光探测材料” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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