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高占空比背照式GaN探测器阵列及其制作方法

790   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:47
本发明属于探测器阵列的制作工艺技术领域，具体涉及一种高占空比背照式GaN探测器阵列及其制作方法，所述制作方法包括在GaN外延片上溅射Ni/Au层；在所述Ni/Au层上采用等离子体增强化学的气相沉淀法PECVD生长SiNx/SiO2膜；在所述SiNx/SiO2膜上涂覆光刻胶层；曝光显影，采用接触式曝光模式曝光探测器GaN外延片；采用电磁耦合等离子体ICP方法刻蚀SiNx/SiO2膜；采用电磁耦合等离子体ICP方法刻蚀GaN层；采用氢氟酸去除SiNx/SiO2膜及残余光刻胶；本发明本发明具有成本低、效率高、制作工艺简单等优点，在制作背照式GaN探测器阵列的技术领域内有突出的技术优势。
声明：
“高占空比背照式GaN探测器阵列及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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