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高压原位阻抗谱测量的电极及其制备方法和应用

1025   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:47
本发明的高压原位阻抗谱测量的电极及其制备方法和应用属于高压条件下电学量原位测量的技术领域。电极组成有在金刚石压砧(2)表面和金属膜电极(1)上沉积的氧化铝保护层(3);金属膜电极(1)在金刚石压砧(2)的砧面中心呈圆形,在金刚石压砧(2)的侧面的金属膜电极(1)部分粘接铜丝导线(5);金属垫片(4)作另一个电极,与金属膜电极(1)一起构成轴对称的电极体系。采用磁控溅射方法镀钼膜、沉积氧化铝膜、光刻和化学腐蚀的方法制作电极。本发明解决了电极固定以及样品腔绝缘等问题,可以忽略体系的寄生电容和寄生电感对测量结果的影响,使得高压下用金刚石对顶砧原位测量物质阻抗谱成为可能。
声明：
“高压原位阻抗谱测量的电极及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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