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测量LTPS显示面板的TFT电性的方法

763   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:45
本发明提供一种测量LTPS显示面板的TFT电性的方法，其通过化学试剂同时与有机平坦层以及第二金属层中的铝反应，去除有机平坦层、第二金属层中的铝、以及第二金属层中的位于铝和有机平坦层之间的第一金属材料，仅保留第二金属层中位于远离所述有机平坦层一侧的第一金属材料，去除有机平坦层时不需要保留第二金属层中的铝，避免因第二金属层中的铝表面蚀刻不均匀导致的TFT电性测量偏差，能够准确测量LTPS显示面板的TFT电性，提升LTPS显示面板的TFT电性的测量成功率，保证LTPS显示面板产品良率。
声明：
“测量LTPS显示面板的TFT电性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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