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基于叉指电极的PbSe薄膜中红外探测器的制备方法

1066   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:50
本发明涉及一种基于叉指电极的PbSe薄膜中红外探测器的制备方法，包括步骤：选用清洁的石英片，用洗剂清洗石英片的衬底后，烘干石英片；用管式炉制备PbSe薄膜；用真空镀膜机制备叉指电极结构；将表面镀有银制叉指电极结构的PbSe薄膜石英片贴在PCB上，用漆包线来联通电极与PCB表面的引脚，制得PbSe薄膜的叉指电极中红外探测器。本发明的有益效果是：采用化学气相沉积方法生长PbSe材料薄膜，制备叉指电极实现高性能的中红外探测器；采用的设备为真空镀膜机和管式炉，所用原材料为PbSe与银粒，价格低廉，操作简单，且成品能够在常温下工作且具有较好的性能，可以有效降低PbSe薄膜中红外探测器的制备成本。
声明：
“基于叉指电极的PbSe薄膜中红外探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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