本实用新型公开了一种测量晶体硅太阳电池pn结用阳极氧化装置,包括直流稳压电源,直流稳压电源与设置在电解槽中的阳极、阴极连接,电解槽中装电解液,阳极为待测硅片,待测硅片是具有绒面结构和pn结的单晶硅片或
多晶硅片。本实用新型根据
电化学阳极氧化法测量pn结的原理设计,结构简单,成本低廉、便于操作,适合大规模晶体硅太阳电池生产中测量pn结使用。
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