合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统

晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统

602   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:49
本发明公开一种晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统，采用上层控制系统和底层控制系统的两级控制模式，两层控制系统之间通过工业以太网实现物理连接。其中，底层控制系统利用可编程逻辑控制器PLC，负责直接控制化学机械抛光单元的在线测量模块，并建立专用的存储区临时存储测量模块在工艺过程中采集到的数据。上层控制系统采用工控机IPC，通过底层控制系统监控在线测量模块的运行，并利用OPC技术主动读取底层存储区中的数据，完成数据的处理，为工艺人员提供操作软件。基于工艺需求，本发明的控制系统设置了标定和测量两种模式，并可分组存储多个标定表以消除不同工艺配方对测量结果的影响。本发明具有无损测试、操作简单、便于维护、良好的可扩展性以及安全可靠的优点。
声明：
“晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：南方桃树病虫害监测方法
下一个：基于校园环境实时监测的学生用背包

与 “晶圆铜膜厚度在线测量模块控制系统” 相关技术

▪ 绿色胶凝材料研与及超细全尾砂似膏体充填采矿技术
▪ 受热自转变技术构建Zn3(VO4)2/Zn2V2O7/ZnO三元高效异质结光催化剂及其对典型有机污染废水的高效处理工艺研究
▪ 轻合金表面自修复涂层技术
▪ 面向绿色再制造的钨基表面材料开发及产业化
▪ 零液体排放机械镀锌工艺
▪ 机械镀镉工艺及技术
▪ 可控结构闭孔泡沫铝锭的高效连铸铸造方法
▪ 有序多孔金属的设计优化及制备方法
▪ 绿色胶凝材料研发以及超细全尾砂似膏体充填采矿技术
▪ 旋流动态煅烧轻烧氧化镁成套化装备

相关化学分析设备推荐

管式土壤墒情监测设备
多气体检测仪
CIST/883-2.25kg SDI冲击土壤测试仪
MSA单一气体检测仪
防水土壤比色卡
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪绿色胶凝材料研与及超细全尾砂似膏体充填采矿技术
▪受热自转变技术构建Zn3(VO4)2/Zn2V2O7/ZnO三元高效异质结光催化剂及其对典型有机污染废水的高效处理工艺研究
▪轻合金表面自修复涂层技术
▪面向绿色再制造的钨基表面材料开发及产业化
▪零液体排放机械镀锌工艺
▪机械镀镉工艺及技术
▪可控结构闭孔泡沫铝锭的高效连铸铸造方法
▪有序多孔金属的设计优化及制备方法
▪绿色胶凝材料研发以及超细全尾砂似膏体充填采矿技术
▪旋流动态煅烧轻烧氧化镁成套化装备

报名参会
更多+

2024中国铅锌产业科技大会
2024中国铅锌产业科技大会
2024年09月19日 ~ 21日
2024铝工业设备更新赋能产业链融通与高质量发展论坛
2024铝工业设备更新赋能产业链融通与高质量发展论坛
2024年09月24日 ~ 26日
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024年09月27日 ~ 29日
第十七届东亚资源再生技术国际会议
第十七届东亚资源再生技术国际会议
2024年11月01日 ~ 04日
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
全国冶金矿产固废资源化第五届学术会议
2024年12月20日 ~ 22日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:54
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:46
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:42
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:38
6 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:34
7 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
8 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:33
9 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
10 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
第一届矿产品采样与制样技术研讨会
推广

热门技术
更多+

1水电站的尾水预埋件
2压力平衡机构
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记