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磷硼预扩散工艺用测试片的循环利用方法

793   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:49
本发明揭示了一种磷硼预扩散工艺用测试片的循环利用方法，先将回收测试片通过100～120℃的硫酸和双氧水混合溶液中浸泡及室温下纯水冲洗，去除回收测试片表面油脂，纤维及分子型沾污；再利用二氧化硅刻蚀液或氢氟酸刻蚀去除其表面的富磷/硼氧化层膜；最后利用酸性混合液对回收的测试片进行刻蚀减薄至规格标准。实施本发明的技术方案并将其投入生产工艺后，其突出效果为：一者采用化学方法减薄，操作简便且成本低廉；再者对于磷/硼预扩散的测试片，不需要考虑OISF的影响，故不需要退火工艺，简化了工艺流程；并且使用本发明循环利用方法可以提高测试片的重复利用率，降低成本两倍以上。
声明：
“磷硼预扩散工艺用测试片的循环利用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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