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日盲/红外双波段自动能光电探测器件及制备方法

1095   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:49
本发明属于光电探测领域，公开了一种日盲/红外双波段自动能光电探测器件及制备方法。首先采用低压有机化学气相沉积方法在蓝宝石衬底层上生长氮化铟红外探测薄膜层，之后采用低温水溶液方法生长氧化铟纳米电子聚集层，并在其表面溅射非晶氧化镓日盲探测薄膜层，最后分别在氮化铟红外探测薄膜层及非晶氧化镓日盲探测薄膜层用银胶作为接触电极，构建日盲/红外双波段自动能光电探测器件。本发明的产品对紫外光和红外光有着非常好的光响应，器件无需外加偏压，具有自动能光电特性，重复性好，操作简单，制造成本低，可以同时实现日盲以及红外探测。
声明：
“日盲/红外双波段自动能光电探测器件及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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