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用于在适形接触掩模电镀操作期间监测沉积质量的方法和装置

626   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:48
公开了电化学制造(例如,EFAB)工艺和装置,其在选择性沉积期间提供对至少一种电参数(例如,电压)的监测,其中监测的参数用于帮助确定所做的沉积的质量。如果监测的参数指示沉积出现了问题,可以采取各种补救操作以成功形成将要完成的结构。
声明：
“用于在适形接触掩模电镀操作期间监测沉积质量的方法和装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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