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氧化锌紫外光电探测器原型器件的制备方法

912   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:47
本发明的氧化锌紫外光电探测器原型器件的制备方法。它依次包括以下步骤:1)在氧化锌薄膜表面旋涂一层光刻胶,一次光刻刻出电极图形,除电极图形外,其余部分仍覆盖光刻胶涂层;2)用磁控溅射法在氧化锌薄膜表面沉积金属层,使金属层的厚度小于光刻胶涂层的厚度;3)将覆盖了金属层的氧化锌薄膜放到可溶解光刻胶的丙酮溶液中进行超声清洗,洗去光刻胶及沉积在光刻胶表面的金属层;4)在保护气氛下退火,去除电极表面有机沾污、提高欧姆接触特性。使用该方法比传统的化学湿法腐蚀法,可以有效防止由于ZnO表面被腐蚀而使器件性能变差。
声明：
“氧化锌紫外光电探测器原型器件的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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