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监测特气的装置及半导体设备

666   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:47
本实用新型提供了一种监测特气的装置及半导体设备，所述监测特气的装置包括指示剂容器、光谱侦测系统、处理器和报警器；指示剂容器内包含指示剂，指示剂用于与特气发生化学反应并发生颜色变化；光谱侦测系统和报警器分别与处理器连接；光谱侦测系统用于获取指示剂的颜色；处理器用于判断是否发生特气泄漏，并控制报警器开启或关闭。指示剂不易受酒精等其它物质干扰，并且可以与微小浓度的特气快速发生化学反应，从而可以在特气发生微量泄漏时即可发出报警信号，提高了安全性。
声明：
“监测特气的装置及半导体设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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