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非晶MgGaO薄膜的光伏探测器及其制备方法和应用

873   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:47
本发明涉及光伏探测技术领域,具体涉及一种非晶MgGaO薄膜的光伏探测器及其制备方法和应用,包括利用金属有机化合物化学气相沉积法使有机镁化合物、有机镓化合物和氧源在衬底的表面生长MgGaO薄膜;在MgGaO薄膜上形成叉指电极;在叉指电极上按压In粒,得到MgGaO光伏探测器,使用金属有机化合物化学气相沉积法制备MgGaO薄膜,使MgGaO薄膜具有结晶质量高、不出现分相、吸收截止边陡峭的优点,解决了传统的制备方法所制备的MgGaO薄膜晶体质量不高,缺陷态较多的问题。
声明:
“非晶MgGaO薄膜的光伏探测器及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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