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CVD系统衬底的无电刷测温方法及装置

678   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:10
本发明针对现有的热丝化学气相沉积(热丝CVD)法金刚石膜沉积系统中衬底温度测量不便或无法动态测量的问题,发明一种能实时连续测量衬底表面温度分布的CVD系统衬底的无电刷测温方法及装置,其关键是将回转式衬底工作台改变为摆动式工作台,既保证衬底表面的温度均匀性,又使得热电偶测温变得十分方便,改变传统的热电偶加电刷的结构,可对衬底表面温度进行实时监控。
声明：
“CVD系统衬底的无电刷测温方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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