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用于实时感测工业制造设备中的属性的装置和方法

600   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:59
描述了用于实时感测工业制造设备中的属性的装置和方法。该感测系统包括：第一多个传感器，其被安装在半导体器件制造系统的处理环境内，其中，每个传感器被指定给不同的区域以监测该制造系统的指定区域的物理属性或化学属性；以及读取器系统，其具有部件，该部件被配置成同时且无线地询问多个传感器。该读取器系统使用单个高频询问序列，该单个高频询问序列包括：(1)向第一多个传感器发送第一请求脉冲信号，该第一请求脉冲信号与第一频带相关联，以及(2)从第一多个传感器接收唯一可识别的响应信号，该响应信号提供对系统的每个指定区域处的物理属性或化学属性变化的实时监测。
声明：
“用于实时感测工业制造设备中的属性的装置和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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