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石墨烯膜基低频声波探测器

740   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:59
本发明公开了一种石墨烯膜基低频声波探测器，该探测器以高强石墨烯膜为主要探测器件，经过组装设计，形成由石墨烯/导电基底为两极的电容器。声波震动，引起石墨烯膜的震动，改变石墨烯膜和导电基底之间的距离，进而引起电容变化，产生电流信号。此高强石墨烯经刻蚀制孔、真空过滤成膜、化学还原、固相转移、金属喷涂、中温碳化、绿气氯化、高温石墨化等步骤得到。该薄膜整体为石墨烯结构，片层间有大量层间交联结构。整体薄膜厚度为20‑50nm。此石墨烯膜电导率可控、强度可调，可用作低频声波探测器件。
声明：
“石墨烯膜基低频声波探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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