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紫外探测器及其制备方法

794   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:57
本发明公开了一种紫外探测器及其制备方法，以及一种用作紫外探测器光激活层的非晶氧化物薄膜。该紫外探测器包含衬底、光激活层及一对电极，且光激活层为非晶氧化物薄膜，该非晶氧化物薄膜的化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18，其中0≦x≦1.0。制备本发明的紫外探测器的步骤包括衬底准备步骤、光激活层形成步骤以及形成金属电极步骤，其中光激活层形成步骤为通过低温化学反应法形成化学式为Zn4AlxSn7O1.5x+18的非晶氧化物薄膜。本发明制得的紫外探测器，暗电流为10-9~10-6A、光电流为10-8~10-5A，响应灵敏度为10~50。本发明使用的制备方法操作简单、成本低，制得的紫外探测器具有探测灵敏度高等优点，在军事、民用等领域具有重要的应用价值。
声明：
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