本发明公开了一种集成波导结构光子数分辨超导单光子探测器,包括衬底和SiO
x波导结构,所述衬底与SiO
x波导之间设置有由若干个单元串联的超导纳米线单光子探测阵列,每个单元由电阻和纳米线并联而成。本发明不仅能够高速探测到波导传输的极微弱光子,并且能够分辨检测到的光子数目,在量子光学
芯片领域具有重要应用。本发明的制备方法为:1、在氟化镁衬底上磁控溅射氮化铌超导薄膜;2、光刻和剥离制备电极;3、用电子束光刻制备纳米线图形,并通过反应离子刻蚀获得氮化铌纳米线阵列;4、光刻电阻图案,并通过制备并联电阻;5、用电子束光刻制备波导图形,并通过等离子体增强化学气相沉积淀积SiOx波导。本发明的制备工艺步骤简单,成品率较高。
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