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笔形海绵掉落探测装置

614   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:55
本发明公开一种笔形海绵掉落探测装置，化学机械研磨设备中设有第二阶段清洁器，该第二阶段清洁器包含用于放置晶圆的平台，以及设置在平台一侧的机械臂，机械臂的端部设有固定器，笔形海绵设置在该固定器中；本探测装置包含：固定支架，其固定在机械臂的端部；传感器，其固定在固定支架的端部；传感器靠近笔形海绵设置，该笔形海绵与传感器之间的距离在传感器的探测范围内；传感器的输出端电路连接外接的主控制器。本发明设置光电接近传感器于笔形海绵侧边，可立即检测到笔形海绵的掉落情况，避免在生产过程中发生笔形海绵脱落而导致晶圆损坏报废的事故，有效的保护了第二阶段清洁器和晶圆，提高第二阶段清洁器的使用寿命和晶圆的良率。
声明：
“笔形海绵掉落探测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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