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半导体纳米紫外光探测及气体传感集成器件的制作和应用

867   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:55
本发明涉及一种半导体纳米紫外光探测及气体传感集成器件的制作和应用，采用化学气相沉积方法，在p型Si/SiO2衬底表面中间段合成二维结构ZnO半导体纳米片，沿合成后的ZnO纳米片两端镀制对称Au/Ti金属电极，采用PDMS、PMMA、PVC中任意一种聚合物涂覆金属电极层，利用对紫外和可见光不透明的铝箔遮挡除中间二维结构ZnO半导体纳米片以外的其他部分制成器件。实现对不同环境气氛条件下紫外光信号的稳定探测以及室温条件下对有机物分子的检测，解决半导体紫外光探测器在环境气氛条件下性能不稳定的难题。具有结构简单、响应快、灵敏度高、可在室温下工作等优点。
声明：
“半导体纳米紫外光探测及气体传感集成器件的制作和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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