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谐振腔增强的单片集成传感器及测量方法

944   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:17
本发明公开一种谐振腔增强的单片集成传感器及测量方法，传感器包括谐振腔、二维材料层、电极、绝缘包层、耦合器、单色激光器、光电探测器、波导、绝缘层和衬底层；所述的绝缘包层和二维材料层从下到上依次位于谐振腔上方，所述的绝缘层和衬底层从上到下依次位于谐振腔下方，所述的波导与谐振腔位于同一层，且位于谐振腔的一侧；所述的电极设有两个，其中一个位于波导上，另一个位于二维材料层上，所述的耦合器置于波导的两端，所述的单色激光器和光电探测器分别连接耦合器。该传感器能够用于片上检测生物化学分子引起的波导环境折射率变化或是用于片上检测生物化学分子的吸收光谱。
声明：
“谐振腔增强的单片集成传感器及测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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