本实用新型属于物理测量设备技术领域,具体涉及一种电子能谱测量前期样品原位预处理的反应装置。主要包括气路管道装置、整体抽气真空装置、原位传样装置和样品过渡室;气路管道装置中包含高温管式炉,其用于样品原位预处理时存放样品,并通入用于样品氧化还原反应的气体;整体抽气真空装置用于在氧化还原反应前后将装置内部进行抽真空处理;原位传样装置将氧化还原后的样品在不暴露大气的情况,传入电子能谱测量仪器进行后期样品本征电子结构的测量。本实用新型的优点在于整个样品化学反应、样品传递和测试分析过程,均在高真空环境中实现,不会改变或者破坏样品的表面结构,实现样品的原位反应及测量。
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