本发明涉及一种深孔镀铜加速剂的测量方法,包括如下步骤:步骤(1)选择金属电极作为工作电极,惰性金属片为对电极,饱和甘汞电极为参比电极,组成三电极体系,选择铜电镀液;步骤(2)测量不含加速剂的基础镀液的阴极极化曲线;步骤(3)在上述基础镀液中加入不同浓度的加速剂,分别测量对应的阴极极化曲线;步骤(4)比较(2)和(3)的阴极极化曲线,分析所述曲线上的相关参数,获得相关
电化学参数与加速剂浓度的定量关系曲线;步骤(5)采用同样电极体系测量实际待测定铜镀液,得结果。本发明采用了阴极极化曲线作为测定对象,更贴近实际电镀过程,从而对铜电镀液管理及过程质量控制产生指导作用,促进TSV电镀铜工艺的工业化应用。
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