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涡流侦测装置以及金属层厚度的测量方法

635   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:24:12
本发明提供了一种涡流侦测装置以及金属层厚度的测量方法。所述涡流侦测装置，应用于化学机械研磨机台，所述化学机械研磨机台包括研磨盘，所述涡流侦测装置包括多个涡流探头，所述涡流探头包括中央探头和边缘探头，所述中央探头和边缘探头设置在与研磨盘中心不同距离的位置。本发明通过在研磨盘不同半径处增加涡流探头，收集晶圆边缘金属层厚度用以补偿原有探头边缘监测能力的不足，提高了涡流侦测能力。
声明：
“涡流侦测装置以及金属层厚度的测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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