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微测量电极的制作方法和热电势的测量方法及相关装置

910   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:23:25
本发明实施例公开了一种微测量电极的制作方法和微尺度样品热电势的测量方法。其中，所述的微测量电极的制作方法包括：制作镂空掩模板，所述镂空掩模板包括至少一个加热器及加热器接线端的镂空图形，和第一电阻温度计和第二温度计的镂空图形，所述温度计的镂空图形包括测温金属线和接线端的镂空图形；将承载有微尺度样品的衬底与所述镂空掩模板对准固定，形成镂空掩模板-衬底复合体；将所述镂空掩模板-衬底复合体进行金属沉积；移除镂空掩模板。采用本发明实施例所提供的技术方案，能够避免可能出现的由于采用光刻-剥离工艺所产生化学污染使得样品的热电传输性质发生变化的情况，进而提高测量微尺度样品热电传输性质的可靠性。
声明：
“微测量电极的制作方法和热电势的测量方法及相关装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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